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掺锑SnO2薄膜电学性能及热应力的研究
掺锑SnO2薄膜电学性能及热应力的研究
来源 :热加工工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户:is_youfeeling
【摘 要】
:
采用热喷涂法制备掺锑SnO2电热膜,研究退火对不同衬底膜电学性能和热应力状态的影响。结果表明,600℃退火可使硼硅玻璃衬底膜的电学性能稳定性增强,退火温度对石英衬底膜的电学
【作 者】
:
张瑞英
张秀梅
吕文春
【机 构】
:
内蒙古工业大学材料学院
【出 处】
:
热加工工艺
【发表日期】
:
2007年6期
【关键词】
:
SnO2电热膜
阻温特性
热应力
tin dioxide electro-thermal films
resistance-temperature chara
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采用热喷涂法制备掺锑SnO2电热膜,研究退火对不同衬底膜电学性能和热应力状态的影响。结果表明,600℃退火可使硼硅玻璃衬底膜的电学性能稳定性增强,退火温度对石英衬底膜的电学稳定性影响不大,但可使热应力降低。
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