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为了定量研究微能放电电蚀量与电极极性和放电能量的关系，根据热传导基本理论和微能放电的实际情况，建立微能放电热传播模型，借助ANSYS分析软件，对微能放电中正负两极的单脉冲放电温度场进行了数值模拟；然后采用两根直径20μm且互相垂直的钨丝进行侧面放电，测量正负两极放电凹坑直径和深度并分别计算其电蚀量，验证仿真结果的正确性。