论文部分内容阅读
本文简要介绍了纳米器件中量子传输效应、电子速度过冲现象、以及典型的量子效应器件,并对干法刻蚀工艺在纳米器件加工中的重要意义和目前发展状况作了较详细的介绍。
纳米器件与干法刻蚀技术目前发展的特点
【摘 要】
：
本文简要介绍了纳米器件中量子传输效应、电子速度过冲现象、以及典型的量子效应器件,并对干法刻蚀工艺在纳米器件加工中的重要意义和目前发展状况作了较详细的介绍。
【机 构】
：
航空航天部第23所北京100854
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
1992年1期
其他文献
普通高中语文教材改革散论□甘肃省教材编审室王磊解放以前，小学教的语文叫国语，中学教的语文叫国文。１９５０年，我国统一将课程名称改为“语文”。自此之后，语文到底是语言文字还是语言
小学生学习几何知识常见缺陷及防治□江苏省东台市教育局教研室周卫东☆☆小学数学教学☆一、小学生学习几何知识时常见缺陷（一）语言表述欠准确。１仅注意概念中较明显的特征。
中师《心理学教程》以儿童心理学为主线，适当渗透了教育心理学和社会心理学知识，但由于它过于概括，加之中师生关于心理学的知识储备不足，这给教学带来一定困难。如何拓宽心理学教
谈职高生的德育工作□兰州市旅游职业学校陈勇彤一、职业高中德育工作对象的特殊性职业高中德育工作是以职业高中学生为对象的。职业高中的学生与普通高中学生相比，虽有许多相
“启发式”教学的全面使用，是时至目前教学改革所取得的最大成果之一，这一点几乎是人所共知的。然而从教学理论角度看，对“启发式”教学究竟应归哪一类属，还没有非常明确的界定。
目的: 评价激素超排(HIO)和体外培养成熟(CVM)两种方法对小鼠卵母细胞染色体的影响. 方法: 通过HIO与CVM分别获得100个、80个成熟小鼠卵母细胞,制备染色体标本进行核型分析.
课堂英语中的错句辨析□甘肃省计划学校李剑在英语教学中，教师免不了使用课堂英语。课堂英语使用得好，对英语教学有相当的帮助，但若出现使用不当等错误，则会对教学有影响。下面就
用物理气相沉积技术(PVD)及化学气相沉积技术(CVD)制备的金属或金属化合物(如TiN、TiC等)薄膜,涂复在机械零件及刀、磨具的表面上,获得了日益广泛的应用。而薄膜的机械强度,
小学是义务教育的基础阶段，小学语文是义务教育中的一门重要的基础学科。教好这门学科，对于学生学习其他各门学科，获取新的知识，以及培养有理想、有道德、有文化、有纪律的社会主
背景与目的：探讨PS8812多糖及其硒多糖的抗诱变作用。材料与方法：采用Ames试验、小鼠骨髓微核及小鼠精子畸形抗突变试验。结果：多糖和硒多糖对鼠伤寒沙门氏菌突变菌株TA95及TA10