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原子力显微镜靶丸４π旋转装置，可以将靶丸在夹持状态下实现４π方向旋转，便于原子力显微镜对靶丸表面任一部分做扫描测量。应用该装置对各种靶丸的表面形貌进行了测量，测量结果表明，靶丸外表面粗糙度小于１０ｍｎ，内表面粗糙度小于２０ｃｍ。
用原子力显微镜4π旋转技术测量靶丸表面粗糙度
【摘 要】
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原子力显微镜靶丸４π旋转装置，可以将靶丸在夹持状态下实现４π方向旋转，便于原子力显微镜对靶丸表面任一部分做扫描测量。应用该装置对各种靶丸的表面形貌进行了测量，测量结果表明
【机 构】
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中国工程物理研究院核物理与化学研究所
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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1999年3期
【基金项目】
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国家863惯性约束聚变领域资助课题
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