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本文扼要介绍SOI材料的制备技术、SOI的优越性以及SOI的应用。
SOI—21世纪的硅集成电路技术
【摘 要】
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本文扼要介绍SOI材料的制备技术、SOI的优越性以及SOI的应用。
【机 构】
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西安电子科技大学
【出 处】
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电子元器件应用
【发表日期】
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2001年3期
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