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同轴谐振腔是目前有望提高电子效率的方法之一,在圆柱腔中加入内导体轴,可以使工作模附近的模谱变稀,有利于模式选择,抑制模式竞争,并有利于电子束的降压回收。通过对同轴波导进行理论研究。分析了各种参数时其的影响,并用计算机编程进行数值分析,最终得出了理论上电子效率可以达到40%以上的同轴腔体结构的结论。