【摘 要】
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分别运用扫描电镜（ＳＥＭ）、透射电镜（ＴＥＭ）和Ｘ射线衍射仪研究了空心阴极法（ＨＣＤ）制备的ＴＩＮ涂层的组织结构、微观形貌、内应力和相组成及其对ＴｉＮ涂层高速钢刀具耐用度的影响．在本文试验条件下，涂层插齿刀与
【机 构】
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南京机械专科学校，东南大学机械系分析测试中心
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分别运用扫描电镜（ＳＥＭ）、透射电镜（ＴＥＭ）和Ｘ射线衍射仪研究了空心阴极法（ＨＣＤ）制备的ＴＩＮ涂层的组织结构、微观形貌、内应力和相组成及其对ＴｉＮ涂层高速钢刀具耐用度的影响．在本文试验条件下，涂层插齿刀与铣刀的刀具耐用度分别是未涂层刀具的４．７倍和３．２倍．研究表明，该涂层为精细层状结构，晶粒大小约３４０ｎｍ，具有明显＜１１１＞择优取向，残余应力均为压应力，其组成主要是ＴｉＮ和Ｔｉ２Ｎ相，游离钛含量较少．
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