每毫米25线光栅尺精度的动态测量

来源 :计量技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chen20080310
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一、概述计量光栅作为一种新型的线位移测量元件,借助光栅读数头及相应的数字电路,构成光栅测量系统,广泛应用在机床和仪器的数控或数显装置中。光栅测量系统的方框图如图1所示。 First, an overview Metrology grating as a new type of line displacement measuring element, with grating readout head and the corresponding digital circuit, constitute a grating measurement system, widely used in machine tools and instruments numerical control or digital display device. Grating measurement system block diagram shown in Figure 1.
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