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选择Ni和Ti粉末及其机械合金化粉末制备Ni／Ti扩散偶，利用扫描电镜和X射线衍射等手段研究了Ni／Ti扩散偶在固相热处理作用下金属间化合物的形成及生长规律．随着热处理温度的提高，Ni，Ni,Ti2Ni和NiTi金属问化合物的数量增加明显；随热处理保温时间的增加，NiTi金属间化合物呈抛物线规律生长，而对Ni，Ti和Ti2Ni的生长影响不大．结果表明，金属间化合物在形成过程中，Ni3Ti和Ti2Ni优先形成，达到一定厚度后，NiTi金属间化合物开始形成并快速增长．