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HKMG技术在CMOS器件中有着广泛的应用，并支撑着45nm、32nm、28nm及以下工艺代的发展；本文重点介绍了HKMG技术的重要技术分支情况，并对HKMG在未来的走向进行了预测。
HKMG技术发展概况
【摘 要】
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HKMG技术在CMOS器件中有着广泛的应用，并支撑着45nm、32nm、28nm及以下工艺代的发展；本文重点介绍了HKMG技术的重要技术分支情况，并对HKMG在未来的走向进行了预测。
【机 构】
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国家知识产权局专利局专利审查协作河南中心国家知识产权局专利局电学发明审查部;
【出 处】
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科学与财富
【发表日期】
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2017年24期
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