化学气相淀积技术合成AIN超细粉末

• 作 者: 李春忠 胡黎明
• 机 构: 华东化工学院技术化学物理研究室,华东化工学院技术化学物理研究室上海200237,上海200237,上海200237
• 出 处: 硅酸盐学报
• 发表日期: 1993年1期
• 关键词: 氮化铝 化学气相淀积 超细粉末 aluminum nitride chemical vapor deposition ultrafine powder
• 基金项目: 高等学校博士学科点专项科研基金,,国家化学反应工程重点实验室基金

在700～1000℃下,用无水AlCl_3和NH_3的化学气相淀积反应合成得到了AlN超细粉末,并研究了反应温度、总流量、AlCl_3浓度等对AlN粉末理化性质的影响。结果表明:(1)粉末的形态受反应温度和[NH_3]/[AlCl_3]的影响;⌒2)粉末的粒度与分布宽度随反应温度的增加、总流量的增加以及AlCl_3浓度的减小而减小;(3)产物AlN粉末中晶态AlN的含量随反应温度的升高而增加;(4)产物A1N中副产物NH_4Cl可经600℃热处理除去;(5)非晶态AlN在1450℃下可转变为晶态AlN,其