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MOS2溅射薄膜是空间机械应用最广的润滑薄膜材料之一,但其在潮湿空气中却存在着润滑性能退化甚至失效的问题.作者依据基础研究及使用要求,研制出新型射频共溅射MOS2基(MOS2-4)薄膜.结果表明,MOS2-4共溅射薄膜具有良好的摩擦学特性和耐潮湿性能.与MoS2溅射薄膜比较,其在真空环境中的耐磨寿命提高4倍以上.多组元之间的协同效应是使薄膜性能大幅度改善的根本原因.