【摘 要】
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采用激光束反射偏转法测量了用溶胶－凝胶法在Ｓｉ（１１１）基片上制备的ＴｉＯ２－ＳｉＯ２复合薄膜的曲率半径。由此计算出薄膜的热应力、应力和本征应力。研究了工艺过程与薄膜应力的关系，其应力随热处理温度
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采用激光束反射偏转法测量了用溶胶－凝胶法在Ｓｉ（１１１）基片上制备的ＴｉＯ２－ＳｉＯ２复合薄膜的曲率半径。由此计算出薄膜的热应力、应力和本征应力。研究了工艺过程与薄膜应力的关系，其应力随热处理温度的增加而由张应力转变为压应力；当热处理温度较低时，随膜厚的增加，其应力增大，而最终导致膜的开裂。薄膜的最大不开裂厚度随热处理温度和ＴｉＯ２含量的增加而增加。
The radius of curvature of TiO2-SiO2 composite films prepared on Si (111) substrates by sol-gel method was measured by laser beam reflection deflection method. From this, the thermal stress, stress and intrinsic stress of the film are calculated. The relationship between the process and the film stress was studied. The stress changes from tensile stress to compressive stress with the increase of heat treatment temperature. When the heat treatment temperature is lower, the stress increases with the increase of film thickness, . The maximum non-cracking thickness of the film increases with the increase of heat treatment temperature and TiO2 content.
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