不同衬底生长ZnO薄膜的结构与发光特性研究

• 作 者: 戴建明 冯建强 张瑞丽 袁广宇 刘强春 王红艳 戴建明 冯建
• 机 构: 淮北煤炭师范学院物理系,中科院固体物理研究所内耗与固体缺陷开放实验室
• 出 处: 淮北煤炭师范学院学报：自然科学版
• 发表日期: 2004年1期
• 关键词: ZNO薄膜 射频磁控溅射 蓝宝石 硅 X-光衍射测量 光致发光 结构表征 ZnO thin films radio frequency magnetron sp
• 基金项目: 国家自然科学基金项目(10374033),安徽省自然科学基金项目(03046201),安徽省教育厅自然科学重点研究项目(2002kj253ZD)

采用射频磁控溅射方法分别在蓝宝石(Al2O3)(0001)和硅(100)衬底上制备ZnO薄膜．通过X-光衍射测量与分析表明两者都沿C轴方向生长，在Al2O3衬底上的ZnO薄膜结晶质量优于在Si衬底上的薄膜样品．然而，由原子力显微镜观测发现在Al2O3衬底上的薄膜晶粒呈不规则形状，且有孔洞，致密性较差；而在Si衬底上的ZnO薄膜表面呈较规则的三维晶柱，致密性好．光致发光测量表明，不同衬底上生长的ZnO薄膜表现出明显不同的发光行为．