脉冲激光沉积镀膜工艺中不同靶材制备方法对La0．72Ca0．28MnO3薄膜电学性能和激光感生电压的影响

• 作 者: 张辉 王文章 崔琦 业冬 马吉 陈清明 刘翔
• 机 构: 昆明理工大学材料科学与工程学院
• 出 处: 中国有色金属学报：英文版
• 发表日期: 2015年2期
• 关键词: La0.72Ca0.28MnO3 靶材 薄膜 溶胶-凝胶法 共沉淀法 La0.72Ca0.28MnO3 target thin film sol-gel
• 基金项目: Project （50902062） supported by the National Natural Science Foundation of China, Project （KKZ1200927002） supported by Key Programme of Kunming University of Science and Technology, China

采用脉冲激光沉积方法在单晶LaAlO_3（100）平衬底和15。倾斜衬底上制备La0.72Ca0.28MnO3薄膜。在镀膜过程中分别采用溶胶－凝胶法和共沉淀法制备靶材。研究不同方法制备的靶材和相应的薄膜的结构、电输运性能和表面形貌。与共沉淀法相比，采用溶胶－凝胶法制备的靶材具有更加均匀的组分和更大的致密度以及晶粒尺寸，因此具有更高的绝缘体－金属转变温度和更大的电阻温度系数。采用溶胶－凝胶靶材制备的薄膜，其晶粒尺寸更均匀、生长质量更好，绝缘体－金属转变温度高20K，激光感生电压也更大。因此，使用溶胶－凝胶方