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提出了将激光辅助化学刻蚀技术应用于钇钡铜氧（YBCO）高温超导薄膜的刻蚀，研究了无掩膜YBCO薄膜激光化学刻蚀的表面特性及其变化规律，为YBCO激光化学刻蚀技术中图形形状控制、刻蚀时间选择和激光功率调节等提供了重要的实验结论。研究发现：在激光辐照下，YBCO薄膜的液相刻蚀速率大大加快，将极大改善刻蚀中的横向钻蚀情况，并提高图形边缘的侧壁陡峭度，且整个过程中的刻蚀速率呈现加快趋势；无掩膜时，YBCD表面刻蚀程度持续过渡，激光光斑边界两侧并非严格分界；衬底铝酸镧（LaAlO3）的晶向对YBCO薄膜的表面刻蚀特