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用电化学方法研究了缓蚀剂发生阳极脱附的机制。实验中发现缓蚀复盖度在低于脱附电位时保持不变，达到脱附电位后迅速降低，脱附电位则随缓蚀抑制能力的增强，浓度增加和氯离子的存在而正移，然而，缓蚀剂层阳极溶解的阻力在脱电位之前就逐渐降低。依据这些结果提出离了化金属粒子对吸附层的冲击导致缓蚀发生阳极脱附，而大量缓蚀剂脱附则发生在达到脱附电位后，缓蚀剂再吸附修补附层速度低于脱附速度时。