【摘 要】
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本文介绍一种基于压阻效应、采用厚膜工艺制作的新型力敏传感器——厚膜力敏传感器的工作原理、结构和工艺特点及国内外现状和发展,并以实例阐述了其应用和市场前景。
This
【机 构】
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中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室,
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本文介绍一种基于压阻效应、采用厚膜工艺制作的新型力敏传感器——厚膜力敏传感器的工作原理、结构和工艺特点及国内外现状和发展,并以实例阐述了其应用和市场前景。
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