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【摘 要】
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采用Sol-Gel方法,通过快速热处理,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备出Pb(Zrx,Ti1-x)O3成分梯度薄膜.经俄歇微探针能谱仪(AES)对制备的'上梯度'薄膜进行了成分深度分析,结果
【机 构】
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苏州科技学院,西安交通大学
【出 处】
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红外与毫米波学报
【发表日期】
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2005年4期
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(973计划)，江苏省自然科学基金
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