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研究衬底偏置机理。在低温偏压衬底下,用三极反应溅射法镀制出在可见光区透射率为83％的ITO膜。测试低温负偏置衬底法与高温无偏置衬底法镀制ITO膜的光谱特性,发现两者在红外区有相似变化。确定出氧分压范围在(5～7)×10~(-3)Pa。
衬底偏置对ITO膜光学性质的影响
【摘 要】
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研究衬底偏置机理。在低温偏压衬底下,用三极反应溅射法镀制出在可见光区透射率为83％的ITO膜。测试低温负偏置衬底法与高温无偏置衬底法镀制ITO膜的光谱特性,发现两者在红外区
【机 构】
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电子科技大学,陕西机械学院
【出 处】
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应用光学
【发表日期】
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1992年4期
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