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使用二维有限差分法分析软件Superfish和三维有限积分法分析软件MAFlA,对142.8MHz次谐波聚束腔的结构进行了模拟和优化研究,给出了聚束腔结构优化设计的步骤和方法,确定了优化后聚束腔的基本结构.分析比较了Superfish和MAFIA两个软件的模拟优化结果,得出了基本一致的结论.还探讨了Superfish和MAFIA在聚束腔设计中的应用方法.