基于最小二乘拟合的不同探针测量线宽的比较

来源 :哈尔滨工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lwp2007sh

【摘要】

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AFM探针的形貌和尺寸对纳米尺度线宽的测量有较大影响.首先建立了一个基于最小二乘的应用于AFM测量技术的线宽计量模型,并使用三种不同探针在NanoScopeⅢa型AFM上对设计线宽

【作者】

：

褚巍赵学增 Joseph Fu 肖增文

【机构】

：

哈尔滨工业大学,PrecisionEngineeringDivision

【出处】

：

哈尔滨工业大学学报

【发表日期】

：

2004年11期

【关键词】

：

线宽原子力显微镜探针最小二乘拟合 Atomic force microscopy Curve fitting Electric insulation Le

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AFM探针的形貌和尺寸对纳米尺度线宽的测量有较大影响.首先建立了一个基于最小二乘的应用于AFM测量技术的线宽计量模型,并使用三种不同探针在NanoScopeⅢa型AFM上对设计线宽尺寸为1000nm的样本进行了测量.应用该模型和算法对线宽进行计算,揭示出探针尺寸对线宽测量结果的影响以及该模型对探针尺寸的依赖性.

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