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本文采用PECVD法制备非晶硅薄膜，采用了氮化硅、氧化硅、单晶硅和铂四种衬底，研究在不同衬底上制备的非晶硅薄膜的光学特性。
衬底对薄膜光学特性的研究
【摘 要】
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本文采用PECVD法制备非晶硅薄膜，采用了氮化硅、氧化硅、单晶硅和铂四种衬底，研究在不同衬底上制备的非晶硅薄膜的光学特性。
【机 构】
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电子科技大学,四川工商职业技术学院
【出 处】
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科学时代
【发表日期】
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2004年期
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