掠出射X射线荧光光谱仪研制

• 作 者: 巩岩 尼启良 陈波 曹健林
• 机 构: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
• 出 处: 光学精密工程
• 发表日期: 2002年6期
• 关键词: 光谱仪 研制 掠出射X射线荧光 光谱分析 薄膜 grazing exit X_ray fluorescence spectrum analysis thin l
• 基金项目: 国家重点实验室基金

掠出射X射线荧光分析技术是分析薄膜特性和介质表面的一种重要工具.文中简述了利用掠出射X射线荧光技术分析薄膜厚度的原理和方法,介绍了一种在实验室里由激发光源、样品承载系统、色散系统、探测系统和数据收集及处理系统构成的掠出射X射线荧光光谱仪系统,并给出了利用55Fe放射性同位素标定该光谱仪系统的试验结果.