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为了解决铈掺杂稀土卤化物单晶中内部热应力大、难于加工的技术难题,该文提供了一种针对铈掺杂稀土卤化物单晶的原位退火处理方法。利用该方法对尺寸为φ25.4 mm×25.4 mm和φ76.2 mm×76.2 mm的Ce∶LaBr3晶体进行退火处理,晶体经过切割、滚圆、研磨、抛光、封装等工艺过程后,均未出现开裂的现象。通过测试以上两种Ce∶LaBr3器件能量谱图,其能量分辨率分别为2.92%和3.02%,该工艺未对晶体的闪烁性能造成影响。实验结果表明,该文提出的铈掺杂稀土卤化物单晶原位退火处理