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本文着重对B、P、As在Si中扩散的特殊理论问题和实验问题的发展过程和最近动态做了较系统的和概要的评述。
硼,磷,砷在硅中的扩散
【摘 要】
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本文着重对B、P、As在Si中扩散的特殊理论问题和实验问题的发展过程和最近动态做了较系统的和概要的评述。
【机 构】
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北京师范大学物理系
【出 处】
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物理学进展
【发表日期】
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1989年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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