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硅烷是太阳能电池工厂及TC0工厂等所使用的特种气体，它极度危险，常温下与空气接触就会引起燃烧、爆炸。本文以某非晶硅薄膜太阳能电池生产线为例，探讨了硅烷站房设计，并对硅烷站的布置、安全措施及供气系统的可靠性设计提出了几点建议。
浅谈硅烷站房的设计
【摘 要】
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硅烷是太阳能电池工厂及TC0工厂等所使用的特种气体，它极度危险，常温下与空气接触就会引起燃烧、爆炸。本文以某非晶硅薄膜太阳能电池生产线为例，探讨了硅烷站房设计，并对硅烷站
【机 构】
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中国建材国际工程集团有限公司
【出 处】
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中国玻璃
【发表日期】
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2012年1期
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