旋转CVI快速沉积热解碳基体

• 作 者: 肖鹏 徐永东
• 出 处: 硅酸盐学报
• 发表日期: 2000年2期
• 关键词: 碳碳复合材料 沉积速度 CVI 热解碳基体 rotating_chemical vapor infiltration pyrolytic carbon de
• 基金项目: 国家自然科学基金!资助项目 ( 59772 0 3 1 )

采用一种新的ＣＶＩ工艺（旋转ＣＶＩ）进行了二维碳布沉积热解碳基体的实验研究，通过实验优化工艺参数，在低压（５ｋＰａ）、高温（１１０℃）、体积分数为６２．５％的Ｃ３Ｈ６与３．５ｍｍ·ｍｉｎ＾－１的碳布旋转线速度条件下，获得了微观孔隙中０．２５μｍ·ｈ＾－１的热解碳沉积速度、约７％的Ｃ３Ｈ６转化率与理想的热解碳基体形貌，分析了旋转ＣＶＩ工艺中沉积温度和Ｃ３Ｈ６浓度等分别对沉积速度、热解碳基体形貌及Ｃ３