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近日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”)第三轮问询结束,距离科创板上市仅一步之遥。中微公司是一家以中国为基地、面向全球的高端半导体微观加工设备公司,是我国集成电路设备行业的领先企,公司聚焦用于集成电路、LED芯片等微观器件领域的等离子体刻蚀设备、深硅刻蚀设和MOCVD设备等关键设备的研发、生产和销售。