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用射频偏压溅射在较高氧压下沉积的六角密排结构的Ｃ轴平行于衬底的混合晶向结构的多晶ＺｎＯ薄膜，对紫外光的照射有较快的光响应。在此ＺｎＯ膜上再沉积一层氮掺杂的ＺｎＯ膜，可使其光响应得以大大改善。
用射频偏压溅射制备的具有快速紫外光响应的ZnO薄膜
【摘 要】
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用射频偏压溅射在较高氧压下沉积的六角密排结构的Ｃ轴平行于衬底的混合晶向结构的多晶ＺｎＯ薄膜，对紫外光的照射有较快的光响应。在此ＺｎＯ膜上再沉积一层氮掺杂的ＺｎＯ膜，可使其光响应得以大大
【机 构】
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山东大学电子工程系
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1995年10期
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