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较详细地分析了用于全硅片上光互连所用光波导(如多晶Si/SiO2、Si/SiO2、Si3N4/SiO2)需满足的基本条件、制作方法以及损耗机制,总结了目前的研究进展.
全硅片上光互连用波导
【摘 要】
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较详细地分析了用于全硅片上光互连所用光波导(如多晶Si/SiO2、Si/SiO2、Si3N4/SiO2)需满足的基本条件、制作方法以及损耗机制,总结了目前的研究进展.
【机 构】
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天津工业大学信息与通信工程学院,天津,300160中国科学院半导体研究所,北京,100083;天津大学电子信息工程学院,天津,300072;
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2006年8期
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