名词术语释义——原子力显微镜(AFM)

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chenyi686
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是一种新型的表面分析仪器。AFM靠探测针尖与样品表面微弱的原子间作用力的变化来观察表面的结构,它不仅可以观察导体和半导体的表面形貌,而且也可以观察非导体的表面形貌,弥补了STM只能直接观察导体和半导体样品表面的不足。因为许多实用材料或感光样品是不导电的,所以AFM的用 Is a new type of surface analysis instrument. AFM detects the structure of the surface by detecting the change of the weak atomic force between the probe tip and the sample surface. It can not only observe the surface morphology of the conductor and the semiconductor, but also observe the surface morphology of the non-conductor, so that the STM can only directly Observe the lack of conductor and semiconductor sample surface. Because many practical materials or photosensitive samples are non-conductive, AFM use
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