热蒸发制备Zn/ZnO薄膜的实验研究

• 作 者: 曾永平 陶淑芬 徐利兵 杨红磊
• 机 构: 曲靖师范学院物理与电子工程学院
• 出 处: 科技信息
• 发表日期: 2011年23期
• 关键词: 热蒸发镀膜法 ZNO薄膜 退火处理 晶体结构

本文采用低真空热蒸发技术,以锌作为蒸发源,通过调节蒸发时间,蒸发温度,真空度等工艺参数,在玻璃基底上获得薄膜样品,再对薄膜进行退火处理。实验结果表明：采用低真空蒸发镀膜法可以制备得到取向很好的Zn（002）单晶薄膜,薄膜样品在450℃真空条件下做退火处理后,进一步提高金属锌膜薄膜单晶性;样品经300℃大气下退火处理后,可得取向（101）的强织构ZnO结构。