等离子体增强和离子束增强的物理涂覆法

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1.导言:通常只有对零件的整体及表面分别选择最佳材料方能获得所要求的性能,如机械强度,延性、耐磨性或外观。半导体元件、光学滤光片或储能窗玻璃只有通过涂覆一定结构的涂层方能获得所需的功能。等离子体增强或离子束增强的物理气相沉积法和等离子体增强的化学气相沉积法对表而强化或涂覆日益重要。目前已能对直径小于1毫米的圆珠笔尖到长7米多的曲轴采用离子渗氮或离子渗碳来硬化。用阴极溅射或离子镀可以在最小的 1. Introduction: Generally, only the best materials are selected for the overall part and the surface of the part to achieve the required properties such as mechanical strength, ductility, abrasion resistance or appearance. Semiconductor components, optical filters or energy storage glazing can only achieve the required functionality by coating certain structures. Plasma enhanced or ion beam enhanced physical vapor deposition and plasma enhanced chemical vapor deposition are increasingly important for table strengthening or coating. Has been able to diameter of less than 1 mm ballpoint pen to 7 meters long crankshaft using ion nitriding or ion carburizing to harden. Cathode sputtering or ion plating can be used at minimum
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