【摘 要】
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本文以实际测得的数据为依据,从实用的角度出发,探求影响GaAs液相外延层厚度的主要因素,提出了几种厚度的数学模型。并对(1)δ=a_0+a_1△t~(1/2),(2)δ=a_0+a_1△t+a_2t~(1/2
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本文以实际测得的数据为依据,从实用的角度出发,探求影响GaAs液相外延层厚度的主要因素,提出了几种厚度的数学模型。并对(1)δ=a_0+a_1△t~(1/2),(2)δ=a_0+a_1△t+a_2t~(1/2),(3)δ=a_0+a_1△t+a_2t三种模型进行校验和比较。此三种模型相关指数大于0.85,剩余标准差约为3μ。
In this paper, the actual measured data as the basis, from a practical point of view, explore the main factors affecting the thickness of GaAs liquid epitaxial layer, put forward several mathematical models of thickness. (1) δ = a_0 + a_1 △ t ~ (1/2), (2) δ = a_0 + a_1 △ t + a_2t ~ (1/2), (3) δ = a_0 + a_1 △ t + a_2t Three models for checksum comparison. The correlation index of these three models is greater than 0.85 and the residual standard deviation is about 3μ.
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