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本文介绍了兆位器件制造的一个重要工艺SSD(选择性硅淀积)及其在多方面的应用。
兆位器件的选择性硅淀积
【摘 要】
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本文介绍了兆位器件制造的一个重要工艺SSD(选择性硅淀积)及其在多方面的应用。
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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1992年1期
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