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Decomposition of Nitrogen Trifluoride Using Low Power Arc Plasma
Decomposition of Nitrogen Trifluoride Using Low Power Arc Plasma
来源 :黑龙江科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tt24834051
【摘 要】
:
本文通过对荣华二采区10
【作 者】
:
Jee-Hun KO
Sooseok CHOI
Hyun-Woo PARK
Dong-Wha PARK
【机 构】
:
Department of Chemical Engineering and Regional Innovation Center for Environmental Technology of Th
【出 处】
:
黑龙江科技信息
【发表日期】
:
2013年9期
【关键词】
:
arc plasma
decomposition
nitrogen trifluoride
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本文通过对荣华二采区10<
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