【摘 要】
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本文概述了离子束工艺,举例说明离子注入在半导体器件制作中的应用。
This article provides an overview of the ion beam process, illustrating the use of ion implanta
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本文概述了离子束工艺,举例说明离子注入在半导体器件制作中的应用。
This article provides an overview of the ion beam process, illustrating the use of ion implantation in the fabrication of semiconductor devices.
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