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在实现了高效晶圆传输全自动控制的基础上．阐述了靶室晶圆传送系统运动部件的结构和各自的功能；介绍了整个晶圆传输控制系统的设计思路，在采用高性能多轴运动控制卡和机械手模块的硬件基础上，引用了有限状态机对系统软件进行了智能化模型设计。
300mm离子注入机靶室晶圆传输控制系统设计
【摘 要】
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在实现了高效晶圆传输全自动控制的基础上．阐述了靶室晶圆传送系统运动部件的结构和各自的功能；介绍了整个晶圆传输控制系统的设计思路，在采用高性能多轴运动控制卡和机械手模块
【机 构】
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北京中科信电子装备有限公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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2010年5期
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