【摘 要】
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设计并制备了AlN电热元件，电热元件由AlN陶瓷基片及其附着其上的通电线路Pt组成。利用丝网印刷的方法在AlN表面进行Pt浆料布线，线条数目为10。烧成温度选为1000℃和1300℃。用
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设计并制备了AlN电热元件，电热元件由AlN陶瓷基片及其附着其上的通电线路Pt组成。利用丝网印刷的方法在AlN表面进行Pt浆料布线，线条数目为10。烧成温度选为1000℃和1300℃。用红外测温仪测量不同电压下的电热元件的工作温度。研究发现，1300℃烧成的电热元件可稳定工作于1000℃以上，符合设计要求。AlN／Pt的结合界面SEM形貌表明AlN与Pt膜是紧密的机械结合。AlN表面氧化生成的氧化膜利于Pt膜与AlN陶瓷的结合。
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