【摘 要】
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本文介绍了一种背面接触引出的ISFET型PH传感器的结构设计、工艺制备、封装技术和测试结果。这种结构的优点是提高了传感器的可靠性和寿命。
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本文介绍了一种背面接触引出的ISFET型PH传感器的结构设计、工艺制备、封装技术和测试结果。这种结构的优点是提高了传感器的可靠性和寿命。
This paper introduces the structure design, process preparation, packaging technology and test results of an ISFET PH sensor with back contact. This structure has the advantage of improving the reliability and life of the sensor.
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