【摘 要】
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介绍一种基于NI视觉软件的光学元件厚度测量装置。首先介绍光学元件厚度测量的基本原理-迈克尔逊等倾干涉;然后搭建光路,利用CCD进行干涉图像采集,传输到计算机中,利用NI视觉
【机 构】
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天津电子信息职业技术学院电子技术系
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介绍一种基于NI视觉软件的光学元件厚度测量装置。首先介绍光学元件厚度测量的基本原理-迈克尔逊等倾干涉;然后搭建光路,利用CCD进行干涉图像采集,传输到计算机中,利用NI视觉软件对图像进行处理,得出光学元件厚度;最后对测量误差产生的原因和消除途径进行了分析。该装置经过详实周密的数据处理,提高了测量精度和分辨力。
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