Damage of Interconnects by Electromigration Induced Surface Evolution

来源 :Tsinghua Science and Technology | 被引量 : 0次 | 上传用户：dashao1

【摘要】

：

ＤａｍａｇｅｏｆＩｎｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔｓｂｙＥｌｅｃｔｒｏｍｉｇｒａｔｉｏｎＩｎｄｕｃｅｄＳｕｒｆａｃｅＥｖｏｌｕｔｉｏｎ＊ＺｈａｏＺｈｉｊｕｎ（赵智军），ＹａｎｇＷｅｉ（杨卫）ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＭｅｃｈａｎｉｃｓ，Ｔｓ... Damage of Interconnects by Electromigration Induced Surface Evolution * Zhao Zhijun, Yang Wei Department of Engineering Mecha

【作者】

：

赵智军杨卫

【出处】

：

Tsinghua Science and Technology

【发表日期】

：

1997年02期

【关键词】

：

智军

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