【摘 要】
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大规模集成电路的微细化和高集成化发展速度惊人,预计在八十年代后半期会出现最小图形尺寸为0.5μm的16M动态随机存取存储器(RAM)的样品,在九十年代初会出现最小图形尺寸为0
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大规模集成电路的微细化和高集成化发展速度惊人,预计在八十年代后半期会出现最小图形尺寸为0.5μm的16M动态随机存取存储器(RAM)的样品,在九十年代初会出现最小图形尺寸为0.25μm的64M动态RAM的样品。对此,一般认为以往所用的光学步进曝光机的分辨率极限达到了亚微米的上限。
The miniaturization and highly integrated development of large scale integrated circuits have seen phenomenal growth. Samples of 16M dynamic random access memory (RAM) with a minimum graphics size of 0.5μm are expected to appear in the second half of the 1980s and would appear in the early nineties Sample 64M dynamic RAM with a minimum graphics size of 0.25μm. In this regard, generally considered the resolution of the optical stepper used in the past reached the limit of sub-micron resolution.
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