主轴回转误差分析仪校准方法

• 作 者: 袁兴起 束红林 崔建军 闫勇刚 毛斌 陈恺 邵宏伟
• 机 构: 河南理工大学机械与动力工程学院,国计量科学研究院,陕西省计量科学研究院
• 出 处: 计量学报
• 发表日期: 2018年B12期
• 关键词: 计量学 回转误差 校准装置 校准方法 不确定度评定 metrologyspindle gyration error analyzercalibrating de
• 基金项目: 国家自然科学基金(51675497),北京市自然科学基金(3162034),国家重点研发计划专项(2017YFF0206305),重点领域基本科研业务费项目(AKYZD1804-1),河南省高等学校重点科研项目(15A480004,16A413006).

针对超精密机床主轴回转误差分析仪校准难的问题,分析了主轴回转误差分析仪的系统组成及测量原理,提出了一种基于示值误差、线性度、重复性等主要计量特性的校准方法;搭建了一种专用的校准装置,该装置采用纳米微动台进行位移驱动,采用高精度激光干涉仪作为计量标准,测量线符合阿贝原则,能够在普通实验环境条件下实现:位移范围±1mm内最佳测量能力优于10 nm,10 min内示值稳定性优于2 nm;进行了主轴回转误差分析仪校准试验,给出了不确定度评定方法。该校准方法及装置能够满足主轴回转误差分析仪以及各种纳米级位