场发射阵列中的分布电阻层

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文章提出一种具有网格状分布电阻层结构的场发射阵列 (FEA)。讨论了电阻层的横向电阻和纵向电阻对器件性能的影响。实验结果表明 ,通过引入电阻层 ,器件发射的不均匀性得到较大改善 ,异常发射得到有效的抑制。 The article proposes a field emission array (FEA) with a grid-like distributed resistive layer structure. The influence of the lateral resistance and the longitudinal resistance of the resistance layer on the device performance is discussed. The experimental results show that by introducing the resistive layer, the nonuniformity of the device emission is greatly improved, and the abnormal emission is effectively suppressed.
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