【摘 要】
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为了确定BiFeO3薄膜最佳的退火温度,利用溶胶凝胶法在Si衬底上制备了BiFeO3薄膜,通过XRD、SEM和Raman等测试手段研究了不同退火温度（0,600,700,800℃）对BiFeO3样品的薄膜结构和
【机 构】
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中国科学院国家天文台长春人造卫星观测站
【基金项目】
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国家自然科学基金天文联合基金(U1431121);国家自然科学基金青年基金(11303063)资助
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为了确定BiFeO3薄膜最佳的退火温度,利用溶胶凝胶法在Si衬底上制备了BiFeO3薄膜,通过XRD、SEM和Raman等测试手段研究了不同退火温度（0,600,700,800℃）对BiFeO3样品的薄膜结构和表面形貌的影响。结果表明,经过退火后的BiFeO3薄膜呈现正交相与六方相共存的结构,随着退火温度升高,样品开始结晶,但过高的退火温度将导致样品出现杂相。同时,适当的退火温度可减小BiFeO3薄膜表面的孔洞和空隙,提高材料的平整度,随着温度进一步提高,薄膜表面出现气泡,材料的平整度变差。另外,经过退火
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