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【摘 要】
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金刚石的成核和生长影响金刚石膜的质量。本文用自制的一种新型的不锈钢谐振腔型微波等离子ＣＶＤ设备，等离子直径为７６ｍｍ，均匀的温度分布使得金刚石膜使得金刚石膜均匀生长，在不同工艺条件
【机 构】
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武汉工业大学材料复合新技术国家重点实验室
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2000年3期
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