切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
浅析清洗工艺中因干燥带来的污染
浅析清洗工艺中因干燥带来的污染
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:margaretclouis
【摘 要】
:
介绍了清洗工艺中常用的干燥方式,以及不同干燥方式给晶片带来的水痕缺陷、颗粒超标等污染。应用过程中需根据不同的工艺要求,选择合适的干燥方式,以达到高效、洁净的干燥效
【作 者】
:
刘盈楹
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2020年3期
【关键词】
:
清洗工艺
晶片干燥
水痕缺陷
颗粒污染
Wet ProcessWafer DryWatermarkParticles contamination
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
介绍了清洗工艺中常用的干燥方式,以及不同干燥方式给晶片带来的水痕缺陷、颗粒超标等污染。应用过程中需根据不同的工艺要求,选择合适的干燥方式,以达到高效、洁净的干燥效果。
其他文献
工信部整治手机淫秽色情行动取得阶段性成果
5月中旬,工业和信息化部(以下简称工信部)宣布,自2009年11月组织开展的整治手机淫秽色情专项行动已经取得阶段性成果。工信部联合运营商已经对存在管理缺失、违
期刊
手机上网
色情
整治
安全协议
信息化
运营商
互联网
网站
公安部等八部门联合整治网络赌博
2月23日,公安部、中宣部、中央综治办、最高人民法院、最高人民检察院、工业和信息化部、中国人民银行、中国银行业监督管理委员会联合召开电视电话会议,动员部署全国从2010年1
期刊
公安部
联合整治
赌博
网络
中国人民银行
最高人民检察院
最高人民法院
电视电话会议
中州学刊编辑委员会
期刊
绿色新生——桂林市全州县人民医院门诊住院综合楼太阳能与建筑一体化设计实践
随着可再生能源建筑应用工作的推广、绿色建筑的普及,太阳能与建筑一体化设计是目前建筑设计领域必须认真研究和探索的课题。通过各专业多工种配合,提高太阳能与建筑一体化设
期刊
太阳能与建筑一体化
太阳能光热
空气源热泵
黄土高原多年生草本根部年轮特征
多年生草本年轮资料是反映草本物种生长状态的重要指标,已被应用于草本物种年际生长动态特征、生活史策略及气候响应敏感性研究当中,然而这方面研究在黄土高原还未引起足够的
期刊
多年生草本
根部解剖
年轮特征
生活史策略
黄土高原
TMES安全服务主打技术、渠道两张创新牌
创新点:趋势科技推出的TMES安全专家服务,正是看准了中型企业的薄弱环节——人这一关键因素,采用专业化的服务流程,由趋势科技的专家团队和分析系统为用户提供专业的网络安全
期刊
既有结构基于评估使用年限的目标可靠度研究
在比较JCCS概率模式规范与我国统一标准规定的结构构件允许失效概率及目标可靠指标的基础上,研究了既有结构基于评估使用年限的目标可靠度.以评估使用年限内的允许累积失效概
期刊
既有结构
评估使用年限
目标可靠度
失效概率
使用安全寿命
existing structuresassessed working lifetarget rel
第十一届中原智库论坛在河南兰考举行
2020年7月2日,由河南省社会科学院、华北水利水电大学、兰考县委县政府联合主办的第十一届中原智库论坛在河南省开封市兰考县举行。本次论坛主题为“加快推动县域经济高质量
期刊
县域经济
河南省开封市
智库论坛
栾川
县域治理
兰考县
薄膜高压传感器焊接封装技术研究
测量高温、高压、强振动等恶劣环境下的压力,薄膜压力传感器具有不可替代的优势。结合薄膜传感器特点,设计全焊接式一体化结构,应用先进的焊接方法与焊接工艺进行传感器结构
期刊
薄膜高压传感器
焊接
封装
Thin film high pressure sensorWeldingEncapsulate
双氧浸出处理含碲金银精矿的试验研究
对含碲金银精矿的性质、氰化浸出技术现状以及生产实践睛况进行了介绍与总结,对此类精矿进一步提高金、银浸出率进行了试验探索并取得技术突破。试验结果表明,对含碲金银精矿进
期刊
双氧水
浸出
含碲金(银)精矿
氰化浸出
浸出率
hydrogen peroxide leaching gold (silver) concentrate co
其他学术论文