【摘 要】
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提出了基于PZT的宏/微双重驱动精密定位机构,采用混合式步进电动机直接驱动宏动平台,实现系统大行程微米级精度定位,安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动微动平台,实现纳米级的分
【机 构】
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吉林大学机械科学与工程学院,长春科技创业服务中心
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（项目编号：50735002）
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提出了基于PZT的宏/微双重驱动精密定位机构,采用混合式步进电动机直接驱动宏动平台,实现系统大行程微米级精度定位,安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动微动平台,实现纳米级的分辨率和定位精度,以高频响动态补偿系统的定位误差。采用显微视觉反馈控制微动台的移动和定位,实现定位机构的全闭环反馈控制,同时提出了带运动规划和估算的运动控制策略,提高了系统的运行速度。实验研究表明：系统的动态和稳定性能良好,该微动台的最大行程80mm,定位精度1μm。
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